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型号:LMG D5系列
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项目
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LMG126
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LMG305
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LMG606
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光源
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可视半导体镭射
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测定范围mm
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0.05~12
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0.2~30
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0.5~60
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最小表示量um
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0.05
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0.05
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0.1
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综合精度um
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±1
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±3
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±4
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直线性误差um
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±0.5
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±2
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±2.5
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往返精度误差um
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±0.2
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±0.5
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±0.5
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扫描频率
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1800/s
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扫描速度m/s
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110
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175
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350
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周围温度℃
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0~45
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